1、化合物制造：化肥、氨、硝酸等化合物的制造。2、惰性保護：惰性保護介質，速凍食品。? ?3、制冷劑：低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑。4、電子工業：電子工業中的外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等。5、標準物：用作標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣等。