1、源于子姓，出自商朝賢人遲任的后代，屬于以先祖名字為氏。2、源于姬姓，出自春西周晚期魯孝公之子公子展之后，屬于以先祖名字為氏。西周晚期，魯國君主魯孝公姬稱（公元前796～前769年在位）有個兒子叫公子展，亦稱公子輾。在公子展的后裔子孫中，有以先祖名字為姓氏者，稱輾遲氏，后省文簡改為單姓遲氏、展氏等。3、源于姬姓，出自春秋末期孔子弟子樊須，屬于以先祖名字為氏。據史籍《姓譜》記載，孔子弟子樊須，字子遲，世人亦稱為“樊遲”。在樊須的后裔子孫重，有以先祖之字為姓氏者，稱遲氏，世代相傳至今。4、源于鮮卑族，出自南北朝時期鮮卑安遲氏部族，屬于漢化改姓為氏。南北朝時期，鮮卑民族中有一安遲氏部族，屬于代北鮮卑，即隸屬于鮮卑拓跋部。在北魏孝文帝拓跋·宏（元宏）于太和十七～二十年（公元493～496年）遷都洛陽入主中原后，大力推行漢化改革措施，在其過程中，安遲氏被改為漢姓安氏。5、源于滿族，屬于漢化改姓為氏。據史籍《皇朝通志·氏族略·滿洲八旗姓》記載：滿族遲佳氏，亦稱持佳氏、持嘉氏，源出唐朝末期女真“通用三十姓”之一的即赤盞氏，在金國時期稱石盞氏，滿語為C’ygiya Hala，世居哈達地區（今遼寧西豐小清河流域），是滿族最古老的姓氏之一。在蒙古族中亦有遲佳氏，原為金人入元籍形成，與滿族遲佳氏同宗同源。