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通孔是什么，在集成電路設(shè)計中，通孔是絕緣氧化物層中的一個小開口，允許不同層之間的導(dǎo)電連接，合包與分包（PAU）工藝被用于制備通孔陣列。與其他雙重曝光工藝不同，PAU工藝并不直接提供額外的圖形分辨率。圖形分辨率只在第一次曝光時獲得，第二次曝光...