超純水又稱UP水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的制備過程。蒸餾水是指經過蒸餾、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入高錳酸鉀與酸。工業蒸餾水是采用蒸餾水方法取得。